
SID4-UV-HR是Phasics針對半導體應用市場需求推出的高性能的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為13.3X13.3mm2,提供512X512的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品大的靶面設計及高達512X512的相位分辨率,滿足了目前半導體紫外鏡頭的表征測試需求;
應用領域:193nm激光光束測量
半導體設備用鏡頭測量
半導體表面缺陷測量
SID4-UV-HR指標規格 | |
波長范圍 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 13.3X13.3mm2 |
相位空間分辨率 | 26um |
相位譜&光強譜采樣率 | 512X512 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 20nm RMS |
采樣頻率 | 15fps |
實時相位輸出頻率 | 3fps(全分辨率) |
通信接口 | USB3.0 |
尺寸 | 80.3 x 78.6x 108.2mm3 |
重量 | 約600g |
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